鼓励外商投资产业目录（2025年版）（2025年） 392．

392． 集成电路设计，线宽28纳米及以下大规模数字集成电路制造，0.11微米及以下模拟、数模集成电路制造，掩模版和掩模基板制造，MEMS和化合物半导体集成电路制造及BGA、PGA、CSP、MCM、LGA、SIP、FC、WLP、MEMS、2.5D、3D、Panel等先进封装与测试，集成电路装备及关键零部件制造