鼓励外商投资产业目录（2025年版）（2025年） 316．

316． 半导体硅单晶炉、硅部件单晶炉、太阳能单晶炉、LPE碳化硅炉、PV碳化硅炉、CVD碳化硅炉、SiC原料合成炉、半导体锗单晶炉、石英坩埚熔融机、氟化炉等研发、制造