外商投资产业指导目录（2011年修订）（2011年） 2．

2． 大型精密仪器开发与制造：电子显微镜、激光扫描显微镜、扫描隧道显微镜、电子探针、大型金相显微镜，光电直读光谱仪、拉曼光谱仪，质谱仪、色谱-质谱联用仪、核磁共振波谱仪、能谱仪、X射线荧光光谱仪、衍射仪，工业CT、450KV工业X射线探伤机、大型动平衡试验机、在线机械量自动检测系统、三座标测量机、激光比长仪，电法勘探仪、500m以上航空电法及伽玛能谱测量仪器、井中重力及三分量磁力仪、高精度微伽重力及航空重力梯度测量仪器，光栅尺、编码器