12． 氟化氢（HF，企业下游深加工产品配套自用、电子级及湿法磷酸配套除外）生产装置，初始规模小于20万吨/年、单套规模小于10万吨/年的甲基氯硅烷单体生产装置，10万吨/年以下（有机硅配套除外）和10万吨/年及以上、没有副产四氯化碳配套处置设施的甲烷氯化物生产装置，没有副产三氟甲烷配套处置设施的二氟一氯甲烷生产装置，可接受用途的六氟化硫（SF6，高纯级除外）生产装置，用作制冷剂、发泡剂等受控用途的二氟甲烷（HFC—32）、1，1，1，2—四氟乙烷（HFC—134a）、五氟乙烷（HFC—125）、1，1，1—三氟乙烷（HFC—143a）、1，1，1，3，3—五氟丙烷（HFC—245fa）生产装置（不含副产设施）