中国禁止出口限制出口技术目录（2001年） 编号：982504J
编号：982504J
技术名称：集成电路制造技术
控制要点：1.抗辐照技术、工艺（▲）
抗静电≥2，500V，抗瞬时剂量率>1×1011rad（Si）—s的CMOS/SOS〔蓝宝石上外延硅/互补型金属氧化物半导体〕器件制造技术
抗静电≥3，000V，抗瞬时剂量率>1×1011rad（Si）—s的双极器件制造技术
技术名称：集成电路制造技术
控制要点：1.抗辐照技术、工艺（▲）
抗静电≥2，500V，抗瞬时剂量率>1×1011rad（Si）—s的CMOS/SOS〔蓝宝石上外延硅/互补型金属氧化物半导体〕器件制造技术
抗静电≥3，000V，抗瞬时剂量率>1×1011rad（Si）—s的双极器件制造技术